레이저 라만 분광법을 이용한 반도체 평가 기술에 대해, 결정 구조의 흐트러짐이나 스트레스 평가, 전기적 특성 평가 등을 체계적으로 해설한 전문서입니다.
- 타이틀: 레이저 라만 분광법에 의한 반도체 평가
- 저자: 카와토다 타카시
- 출판사: 도쿄대학 출판회
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