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[ 상세 설명 반도체 CMP 기술 ]
도이 토시로
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초LSI 디바이스의 발전 경위와 현황 동향, 과제 및 평탄화 CMP 도입 배경과 초정밀 폴리싱/CMP 기술의 기초를 개설하고, 평탄화 CMP 시스템과 요소 기술에 대해 상세히 설명한다.
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