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1990년에 출판된 MEMS 관련 고전 논문집. - 타이틀: Micromechanics and MEMS - 편집자: William S. Trimmer - 출판년: 1990 - 출판사: IEEE Press - 장르: 과학 공학 - 언어: 영어 방문해 주셔서 감사합니다.

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